MEMS型加速度传感器
加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。MEMS加速度传感器，利用硅微机械加工技术(MEMS)制造的加速度传感器。
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详细介绍
MEMS加工技术生产的加速度传感器主要分为压阻式和电容式。压阻式加速度传感器，具有频率响应特性好、测量方法易行、线性度好等优点，其缺点是温度效应严重、灵敏度低，是利用硅材料电阻率的变化。
电容式加速度传感器，是将被测加速度转换成电容的变化来进行加速度测量的，其基本特征是工作性能稳定，温度漂移小。
带宽或频率响应是加速度计选择中最重要的参数。如果加速度计的带宽不包括您希望测量的运动，振动或冲击的频率，您将无法获得准确的结果。频率响应规范显示了整个频率范围内灵敏度的最大偏差。通常将带宽指定为相对于参考频率灵敏度（通常为100 Hz）的公差带。可以以百分比和/或dB为单位指定公差带，典型的频段为±5％，± 10％， ±1 dB甚至±3 dB。大多数数据手册都会提供典型的频率响应曲线，以为用户提供帮助。